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BQX系列半自动清洗机
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BQX系列半自动清洗机主要应用于半导体集成电路、半导体材料、LED、OLED、微机电系统MEMS等行业的湿法腐蚀清洗工艺，去除晶圆表面有机颗粒和部分金属颗粒污染。
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DPX系列单片清洗刷洗机.
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BQX系列半自动清洗机主要应用于半导体集成电路、半导体材料、LED、OLED、微机电系统MEMS等行业的湿法腐蚀清洗工艺，去除晶圆表面有机颗粒和部分金属颗粒污染。
微电子装备事业部
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